等離子體清洗技術利用高能量等離子體的轟擊被清洗表面，通過物理作用使得污染物從金屬表面脫落，同時，電離氣體產生的活性粒子會與表面的有機物或者氧化物等發生化學反應進而生成易于揮發的物質，脫落物質通過真空泵的抽氣作用排出以達到清洗的效果。