腔體式等離子清洗機是一種低溫低壓射頻等離子清洗設備，其原理是基于真空狀態下，利用射頻源激發形成的高壓交變電場將工藝氣體震蕩成等離子體，與有機污染物及微顆粒污染物反應或者碰撞，從而形成揮發性物質，最后由真空泵將揮發性物質排出去，從而達到表面清潔活化的目的。腔體式等離子清洗機的最大特點是可實現整體和局部以及復雜結構的清洗。

圖一腔體式等離子清洗機

腔體式等離子清洗機結構及內部構造如圖1、圖2所示。

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圖二腔體式等離子清洗機結構

腔體式等離子清洗機結構簡介：

1、清洗腔體：提供真空環境完成等離子體清洗。

2、射頻系統：提供高頻電壓，激發形成等離子體。

3、真空系統：用于抽真空，以提供100Pa以下負壓工作條件。

4、PLC控制系統：對整個系統進行控制，實現多種工作模式。

腔體式等離子清洗機的用途：

1、材料表面清洗：腔體式等離子清洗機可以清洗金屬表面油脂、油污、以及肉眼看不到油脂顆粒等有機物及氧化層。

2、表面刻蝕：腔體式等離子清洗機通過處理氣體的作用，被刻蝕物表面會變得粗糙，有些會變成氣相排出。

3、表面改性：以聚四氟乙烯（PTFE）為例，在其未做處理的情況下，不能印刷或粘合。使用等離子處理可以使表面最大化，同時在表面形成一個活性層，這樣PTFE就能進行粘合、印刷操作。

4、表面活化：腔室等離子清洗機主要用于清理塑料、玻璃、陶瓷與聚乙烯（PE）、聚丙烯（PP）、聚四氟（PTFE）、聚甲醛（POM）等無極性材料的，可以提升表面的親水性能，和粘接性能等。低溫等離子體表面活化處理技術是一種干式工藝，具有低溫、高效、穩定的活化效果。

等離子清洗原理：

當等離子體與被清洗物體表面相互作用時，一方面利用等離子體或者是等離子激活的化學活性物質與材料表面污物進行化學反應，如用等離子體中的活性氧與材料表面的有機物進行氧化反應。等離子體與材料表面有機污物作用，把有機污物分解為二氧化碳、水等排出。另一方面利用等離子的高能粒子對污物轟擊等物理作用，如用活性氬等離子體清洗物件表面污物，轟擊使其形成揮發性污物被真空泵排出。