等離子體表面處理是一種基于等離子體中產生的電子、離子、活性粒子和紫外光等和處理材料的表面相互作用，對處理材料表面進行滅菌、清洗、接枝和功能化等性能達到提高為目的方法。等離子體表面處理具有效率高、速度快、功能多、可大面積工業化運行等特點。目前不論在航空航天、微電子行業、顯示器、半導體工業等高端產業，在印刷、包裝、紡織等和日常生活緊密相關的領域，等離子體改性在越來越多被應用。采用等離子體表面處理可以在較低的溫度下實現基體的高表面能、高附著力、高附加值。

低溫等離子體是低氣壓放電（電暈、高頻和微波等）產生的電離氣體，在電場的作用下，氣體中的自由電子從電場獲得能量成為高能量電子。這些高能量電子與氣體中的分子、原子碰撞，如果電子的能量大于分子或原子的激發能就會產生激發分子或激發原 子自由基、離子和具有不同能量的輻射線，低溫等離子體中的活性粒子（可以是化學活性氣體、惰性氣體 或金屬元素氣體）具有的能量一般都接近或超過Ｃ－Ｃ 鍵或其他含Ｃ鍵的鍵能。我們通過離子轟擊或注入聚合物，氣體產生斷鍵或引入官能團，使表面活性化以達到改性的目的。

低溫等離子體表面處理的主要形式

表面刻蝕

在等離子體的作用下，材料表面的一些化學鍵發生斷裂，形成小分子產物或被氧化成CO、CO2等， 這些產物被抽走，使材料表面變得凹凸不平，加大了粗糙度。

表面活化

在等離子體的作用下，塑料表面出現部分活性原子、自由基和不飽和鍵，這些活性基團與等離子體中的活性粒子接觸會反應生成新的活性基團。但是，帶有活性基團的材料會受到氧化的作用或分子鏈段運動的影響，使表面活性基團消失，因此經等離子體處理的材料表面活性具有一定的時效性。

表面接枝

等離子體在對材料表面改性時，等離子體中活性粒子對表面分子的作用，使表面分子鏈斷裂產生新的自由基、雙鍵等活性基團，從而發生表面交聯、接枝等反應。

低溫等離子體根據所使用的氣體可分為反應型低溫等離子體和非反應型低溫等離子。惰性氣體的轟擊可以改變材料的表面結構引起表面的交聯和蝕刻，造成表面發生物理變化，從而明顯地改善聚合物表面的接觸角和表面能，進而提高材料的粘接性能。

表面清洗

等離子清洗將無機氣體激發到等離子態活性粒子，活性粒子與 表面分子反應生成產物分子，產物分子進一步解析 形成氣相殘余物脫離表面。

低溫等離子體處理技術通過表面刻蝕、產生交 聯結構以及引入特定的官能團等方式對聚合物材料表面進行改性，達到改善材料表面性能( 如親水性、 黏合性、染色性、生物相容性等) 的目的 ?，因此， 低溫等離子體技術在聚合物材料表面改性方面具有廣闊的應用前景。